应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201210024934.X
申请日期:	2012-02-06
专利号:	201210024934.X
第一发明人:	尚海平;焦斌斌;刘瑞文;陈大鹏;李志刚;卢狄克
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201210024934.X
专利摘要:
其它备注:	先导中心

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