具有精密功率检测器的射频电源 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	具有精密功率检测器的射频电源
专利类别:	国际专利
申请号:	PCT/CN2012/082209
申请日期:	2012-09-27
专利号:	US9515567
第一发明人:	李勇滔;赵章琰;秦威;李英杰;夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	US9515567
专利摘要:
其它备注:	八室一组

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