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专利名称: 一种等离子体浸没离子注入系统
专利类别: 发明专利
申请号: 201210533994.4
申请日期: 2012-12-11
专利号: 201210533994.4
第一发明人: 赵丽莉;邹志超;窦伟;李超波
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210533994.4
专利摘要:
其它备注: 八室一组
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