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专利名称: 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210531988.5
申请日期: 2012-12-11
专利号: 201210531988.5
第一发明人: 卢维尔;夏洋;李超波;解婧;张阳
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210531988.5
专利摘要:
其它备注: 八室一组
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