专利名称: 一种对InP基RFIC晶圆进行电化学减薄抛光的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201310473279.0
申请日期: 2013-10-11
专利号: 201310473279.0
第一发明人: 汪宁
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201310473279.0
专利摘要:
其它备注: 高频高压中心