应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法
专利类别:	国际专利
申请号:	PCT/CN2013/079515
申请日期:	2013-07-17
专利号:	9,260,297
第一发明人:	焦斌斌;刘瑞文;李志刚;孔延梅;陈大鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	9,260,297
专利摘要:
其它备注:	感知中心

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