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专利名称: 一种肖特基二极管接触孔制备的可测试性监控方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201410222244.4
申请日期: 2014-05-23
专利号: 201410222244.4
第一发明人: 杨成樾;周静涛;金智
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201410222244.4
专利摘要:
其它备注: 高频高压中心
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