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专利名称: 一种制备表面等离子体激元纳米光子器件的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201410221679.7
申请日期: 2014-05-23
专利号: 201410221679.7
第一发明人: 孙海涛;刘琦;吕杭炳;龙世兵;刘明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201410221679.7
专利摘要:
其它备注: 微电子重点实验室
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