半导体制造技术--中国科学院微电子研究所

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专著名称:	半导体制造技术
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出版时间:	2004年1月
出版社:	电子工业出版社
主编:	（美）Michael Quirk,Julian Serda
编写人员:	韩郑生等译，海潮和、徐秋霞等审校
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著作性质:	半导体制造
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