10月25日，微电子所团委、青促会联合举办了微电子所“岗位大练兵暨第二届青年技术能手大赛”系列活动学术报告会，邀请微电子所微电子设备技术研究室主任夏洋研究员作《集成电路制造设备》学术报告，100余名青年职工及学生参加了报告会。报告会由所团委书记武锦主持。
夏洋研究员在报告中由浅入深、由表及里地介绍了我国集成电路制造设备研究的进展及特点，并对32nm以下集成电路新原理装备研究（曝光、刻蚀、薄膜生长、清洗等技术）和科研装备的产业化等问题进行了分析。报告不仅从专业角度对各种集成电路制造设备的工作原理予以详解，同时还贯穿以生动的例子讲述如何在科研中培养创新能力、思路等问题，使在座青年职工和学生都受益匪浅，从中获得了科研创新的新灵感。
此次报告会是微电子“岗位大练兵暨第二届青年技术能手大赛”系列活动之一，所团委还将围绕技术能手大赛活动举办相关培训和讲座，给予广大青年职工、学生在科研工作和学习上的帮助。
夏洋研究员作报告
报告会现场
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