近日，微电子所与是德科技有限公司合作搭建了110GHz on-wafer 片上测试系统。该系统是目前业界芯片测试领域频率最高的裸片测试平台，代表了国内科研院所在集成电路设计及加工领域的最先进水平。
片上测试需要器件S参数及直流I/V、C/V特性曲线这两项主要技术参数。在测试中，该系统具有较为突出的优势：PNA-X可全频段扫描从10MHz直到110GHz，且具有单次连接、多种参数同时测量的强大功能，极适用于on-wafer测试配合探针台使用；B1500A半导体器件分析仪是一款具有10插槽配置的模块化仪器，支持全功能I/V、C/V曲线表征及快速高电压脉冲和快速脉冲测量；该系统还拥有专用于芯片测试的EDA软件IC-CAP，此软件可控制PNA-X、B1500A和探针台协同工作、自动测量。
随着微波电路的工作频率不断升高，芯片的工作频率逐渐提升到毫米波波段。微电子所自2008年开始W波段器件的研究，如今已成功采用InP技术设计加工完成多款W波段芯片。
是德科技有限公司是全球电子测量技术和市场的领导者，该公司所生产的电子测量仪器、系统和相关软件，以及软件设计工具和服务，可广泛应用于电子设备的设计、研发、制造、安装、部署和运营。
110GHz on-wafer片上测试系统
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