“新原理设备关键技术研究及创新设备技术探索”项目启动

　　日前，国家重大专项“新原理设备关键技术研究及创新设备技术探索”项目启动大会在微电子所召开。所长叶甜春以及该项目参与人员出席了会议。会议由项目负责人、微电子所微电子设备技术研究室主任夏洋主持。 

　　会上，夏洋主任首先回顾了“新原理设备关键技术研究及创新设备技术探索”项目的整个立项过程。指出该项目的目标是针对微电子新结构器件、工艺技术的发展和新材料的应用研究新原理设备，为我国获得自主知识产权以及和企业相结合研究新原理设备产业化方案进行产业化基地建设，为我国研究机构提供实验型系列新原理微电子设备。 

　　叶甜春所长讲话时强调，重大科研专项是国家任务，参与人员组成的是一支国家队，肩负着重任。他要求项目组第一要格外重视知识产权问题，做好专利搜索、进行知识产权分析。第二要把工作重心放在工艺研究和设备的创新原理研发上，不要急于做设备的自动化，设备集成工作可借助有经验的单位；第三要建立良好的例会制度，加强沟通交流；第四要签订内部技术保密协议，确保信息安全；第五要注重人才队伍建设，要引进对工艺和需求研究有造诣的海外人才；第六要提前制订工作计划，调动各方资源，迎接好每一阶段的验收。 

　　此外，该项目各子课题负责人还分别就项目中所涉及设备的国内外最新进展情况、课题组的设计方案、工作进展和工作计划等问题做了报告并与在座专家进行了讨论。会上，夏洋主任对各课题负责人的报告进行了总结，对未来工作进行了具体部署，并为建立规范化的管理体系问题提出了实施方案。 

　　项目启动大会的召开，为所有项目组成员进一步明确了工作方向和工作目标，为成员间的沟通交流提供了良好契机，为促进该重大专项的顺利开展起到了积极作用。 　　

　　项目启动会