根据中央关于巡视工作的部署和要求，依据《中国科学院巡视工作实施办法》的有关规定，10月11日—13日，以中科院巡视工作办公室主任李晓光为组长，成都分院原党组书记彭玉水、人事教育局原副局长黄海霞、监察审计局、人事教育局、北京分院相关同志组成的中科院巡视组到微电子所开展巡视工作。
10月11日上午，巡视组首先召开了所领导班子及有关负责人会议。微电子所所长叶甜春，党委书记李培金，副所长周玉梅、周也方，党委委员、纪委委员、各研究室负责人、管理（支撑）部门负责人、工会职代会负责人、离退休老干部工作负责人、支部书记代表及研究生代表共60余人参加了会议。
李晓光首先结合当前党风廉政建设和反腐败工作的形势，深刻阐述了中央组织开展巡视工作的目的和重要意义，并就近年来中科院开展巡视工作情况、本次巡视工作程序和要求作了介绍。他强调，开展巡视工作对于加强社会主义政治文明建设、党的自身建设、领导班子及领导干部队伍建设、党风廉政建设和促进研究所的健康发展具有重要意义。
叶甜春所长代表所领导班子从研究所的基本情况、科研工作、管理工作及制度建设、人才队伍建设及研究生教育、党建工作及创新文化建设、存在的问题及努力方向六个方面向巡视组做了汇报。针对发展中存在的问题，微电子所将以科学发展观为指导，按照中科院“创新2020”方案的总体要求，进一步明确目标定位，扎实转变观念，整合优势学科，推动开放合作，加强人才队伍建设，融合形成新的创新文化，努力实现新的创新跨越。
会议结束后，按照工作程序，巡视组分3个小组分别与所领导班子成员，党委委员、纪委委员，科研一线骨干，管理、支撑部门负责人及重要岗位的工作人员，工会、职代会、妇委会、离退休老干部代表，中青年科技人员代表、研究所控股参股企业代表和研究生代表等110余人进行了谈话，并请谈话人员填写了巡视工作调查评价表，深入了解了所领导班子的相关情况以及科研、管理、党风廉政建设等方面的情况。巡视组还检查了所务会议、所长办公会议、党委会议、纪委会议等相关会议记录和会议纪要，查阅了研究所各种规章管理制度等相关材料。
10月13日上午，在李培金书记陪同下，巡视组到中科院微电子器件与集成技术重点实验室化合物工艺平台、CMOS工艺平台和微细加工和纳米光刻平台进行了实地考察，听取了科研人员的汇报。巡视组还对微电子所优美的园区环境给予了高度评价。
中科院巡视组到微电子所开展巡视工作，对于促进微电子所加强党风廉政建设，强化党内监督，完善各项管理规范，推动各项工作再上新的台阶，实现研究所可持续发展将起到积极的促进作用。
会议现场会议现场
巡视组考察净化间
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