工业和信息化部电子信息司安筱鹏副司长一行到微电子所调研

　　11月29日，国家工业和信息化部电子信息司安筱鹏副司长一行到微电子所调研。微电子所副所长陈大鹏，所长助理、中科院EDA中心主任陈岚，科技处处长王文武，十室主任赵超，闫江，八室副主任陈鲁，九室副主任于中尧，研究员陆原等参加了座谈会。

　　安筱鹏副司长一行此次调研目的一方面是了解微电子所近年来的发展情况及承担国家重大科技专项的进展情况，另一方面是实地参观微电子所工艺线及EDA中心。

　　陈大鹏副所长代表微电子所对安筱鹏副司长一行的到访表示热烈欢迎，并作了题为《改革、开放、发展》的报告，全面介绍了微电子所的基本情况及承担国家重大科技专项的情况。十室主任赵超介绍了先导工艺研发中心的基本情况及承担的国家科技重大专项02专项“22nm先导工艺研究及平台建设”的最新科研进展和成效向安司长做了汇报。他指出，先导工艺研发中心自成立以来采用知识产权引导下的科研战略，依托及中心拥有的完整的8英寸研发线，在02专项的推动下，先导工艺平台目前已成为国产设备和材料的工艺开发和机台验证的重要基地。九室副主任于中尧介绍了微电子所系统封装研究室目前从事的针对后摩尔时代集成电路向三维集成技术发展情况，以及对电子系统小型化、多功能、高性能、高可靠、低成本、低能耗的需求和研究室所开展的三维集成技术、系统级封装、高密度封装等关键技术的研发情况，并重点介绍了封装设计仿真工具、基板实验线、微组装实验线、测试实验室、可靠性实验室等目前国内最好最全最先进的研发平台情况。八室副主任陈鲁介绍了微电子设备研究室在32nm以下设备及关键技术研究方面所取得的科研成果，并重点介绍了依托承担的国家科技重大专项02专项所开发的8台新原理设备及其应用情况。

　　会上，安筱鹏副司长一行就感兴趣和重点关注的问题同微电子所科研人员进行了交流和探讨。安筱鹏副司长讲话时指出，微电子所近年来发展势头非常迅猛，尤其是在“十一五”国家科技重大专项的支持下，在人才引进、公共平台建设等方面都得到了较大地改善和提升，并在此基础上通过自身努力取得了成绩，在国内微电子领域的影响力日渐提升，对此表示赞赏和祝贺。同时，他也指出微电子领域的竞争非常激烈，希望微电子所在今后的发展中能继续紧密围绕国家战略需求，不断调整和优化学科布局，积极创新和探索发展的新模式，在人才培养和科研攻关等方面取得更好、更大的成绩。

　　会后，来访一行参观了系统封装实验室的基板实验线、微组装实验线、测试和可靠性实验室线以及先导工艺研发中心的8英寸CMOS工艺线和微电子设备研究室的32nm以下新原理设备平台和中科院EDA中心。

会议现场

参观净化间封装线

参观净化间先导工艺线

参观净化间32nm新原理设备平台