一、项目名称
20180601-20210531 三年期JBX6300FS电子束光刻系统维修保养服务项目。
二、单一来源采购理由说明
JBX-6300FS纳米直写电子束光刻系统自引进以来为微电子所承担的国家科技攻关项目课题的顺利完成、获得多项国家发明奖和北京市科学进步奖的科研工作中做出了重要贡献。为保证系统正常运行和纳米级直写的精度要求，需要对整个系统进行维护、保养和更换电子枪等技术服务，由于电子束光刻系统是目前国际应用于纳米科技的尖端设备，在世界上也只有少数几个厂家能够制造，而且每家生产的系统结构都不一样，没有互换性，所以维护、保养和更换电子枪等技术服务只能依靠原制造厂商及其具有代理资格服务公司承担。我所引进的 JBX 6300FS电子束光刻系统是日本JEOL公司生产的，该公司在上海设有一个半导体装备销售和售后服务的公司“捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司”，是国内唯一一家具备承接JBX 6300FS电子束光刻系统维护、保养和更换电子枪等技术服务。所以纳米直写电子束光刻系统的维护、保养和更换电子枪等服务项目只能采用单一采购方式。
三、该项目拟由捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司提供（或承担）。
四、征求意见期拟从2017年9 月7 日至2017年9月14 日止。
本项目公示期为2017年 9月7日至2017年9 月14日。有关单位和个人如对公示内容有异议，请在2017年9月14 日15:00（北京时间）之前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式反馈至中国科学院微电子研究所，地址：北京朝阳区北土城西路3号，邮编：100029，联系电话：82995706，联系人：罗纳。
中国科学院微电子研究所
2017年9月7日
综合信息