一、项目名称
中国科学院微电子研究所 JBX-6300FS系统升级改造技术服务
二、单一来源采购理由说明
我所在研的“X射线衍射光谱与成像纳米器件集成制造”课题主要研究X射线衍射光谱与成像纳米器件集成制造。该课题需采用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术制作X射线衍射光谱与成像纳米器件。而电子束光刻和X射线光刻掩模则需要依赖中国科学院微电子研究所原有的大型JEOL JBX-6300FS电子束光刻系统，是必不可少的。但是，该大型电子束光刻系统的副扫描器仅为12.5MHz，且位置偏转数模放大器和控制中央处理器性能较差，不能满足该课题的需求，需要将其升级改造。
捷伊欧（JEOL）半导体贸易（上海）有限公司是我所JEOL JBX-6300FS电子束光刻系统生产厂商在中国的唯一国内代理商，因此只能采用单一来源方式采购。
三、该项目拟从捷伊欧（JEOL）半导体贸易（上海）有限公司进行采购。
四、征求意见期限从2018年12月3日至2018年12月7日止。
本项目公示期为2018年12月3日至2018年12月7日。有关单位和个人如对公示内容有异议，请在2018年12月7日15:00（北京时间）之前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式反馈至中国科学院微电子研究所，地址：北京朝阳区北土城西路3号，邮编：100029，联系电话：82995706。
中国科学院微电子研究所
2018.12.3
综合信息