薄膜晶体管(TFTs)是大面积电子设备中的重要组成部分,被广泛应用于各种显示设备,如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED),传感器和太阳能电池等电子设备。更重要的是,TFTs正在被研发应用于大规模集成电路,尤其是存储器。
近日,微电子所重点实验室刘明院士团队在Nature旗下的期刊Nature Electronics(自然电子学)发表了综述论文“Thin-film transistors for large-area electronics”。该文回顾了用于大面积电子设备的薄膜晶体管的发展,探讨了基于非晶硅(α-Si)、低温多晶硅(LTPS)、非晶氧化物(α-IGZO)半导体和有机半导体等不同材料的薄膜晶体管在显示、传感、数字电路等领域的应用,并重点讨论了薄膜晶体管在DRAM等新兴应用中的潜在用途。文章指出,薄膜晶体管在平板显示器和X射线检测器等现有应用中已经取得成功,未来在存储器、可穿戴设备和其他新兴领域的应用潜力巨大。
微电子所耿玓研究员、中山大学王凯教授为共同第一作者,微电子所李泠研究员和刘明院士为通讯作者。
全文链接:https://www.nature.com/articles/s41928-023-01095-8
图1单晶、非晶及氧化物半导体的原子排列、能带结构和器件结构
图2薄膜晶体管在显示及图像传感等应用方面的示意图
图3薄膜晶体管在非显示应用方面的代表性应用
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