【工程中心】北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心

　　北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心成立于2016年12月，依托于中国科学院微电子研究所，共建单位为北京泰龙电子技术有限公司。

　　工程中心的研发方向主要围绕微纳加工技术，薄膜生长工艺、刻蚀工艺以及微纳加工的仪器设备开发。主要研究内容包括：

　　1、重点开展等离子体加工技术，研究薄膜生长及图形化刻蚀工艺。

　　2、重点开展等离子体加工设备，包括原子层沉积系统、等离子体化学气相沉积系统、溅射系统、激光脉冲沉积系统、离子体刻蚀机。并针对现阶段多样化的工艺需求，开展多种工艺一体化设备研究，如二维材料生长及器件一体化仪器，解决微电子科学及微纳制造技术中所涉及的核心问题。

　　3、培育和参与国内微电子设备企业，持续提供创新核心技术和源头的创新能力，培养微纳加工人才，为我国的微电子产业装备技术自主能力提升奠定技术基础。

　　工程中心依托强大的科研实力和人才技术优势，遵循市场导向，致力于推动科研成果的落地和产业化，已经为企业和科研院所提供较高性价比的微纳加工设备，通过与高校、院所及企业的合作、联合，建立产学研用联盟，对发展我国自主知识产权的微电子关键装备提供了技术储备，对集成电路产业和相关学科的发展有重大的意义。