> 参数:手动旋钮控制
> 基片尺寸φ200-φ600mm圆片、最大500x500mm2方片
> 转速:200-2000转/分
> 显示转速稳定度:±1,胶的均匀性±5%
> 匀胶阶段:2段
> 匀胶时间:3-60s可调
> 电机功率:320W
> 仪器尺寸:980mmx855mmx855mm
> 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料
联系人:杨进
联系电话:82995689
微电子仪器设备研发中心