技术参数及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm圆片,最大100×100mm2方片
额定电压:~220V/50Hz
LED数字显示
转速:500-8000RPM
转速稳定性:<±1% 旋涂均匀性:<3%
旋涂工艺阶段:2段
Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分 Ⅱ档 调速范围:1000-8000转/分
旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S)
电机功率:40W
整机尺寸(长宽高):210mm×260mm×275mm(包括接胶盘)
裸机尺寸(长宽高):210mm×260mm×155mm
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等各种材料
联系人:杨进
联系电话:82995689
微电子仪器设备研发中心