重点产品

KW-4A型

稿件来源: 发布时间:2018-12-19
  

技术参数及要求:

基片尺寸:Φ5-Φ100mm圆片,最大100×100mm2方片

额定电压:~220V/50Hz 

LED数字显示

转速:500-8000RPM

转速稳定性:<±1%    旋涂均匀性:<3%

旋涂工艺阶段:2段

Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分   Ⅱ档 调速范围:1000-8000转/分

旋涂时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S)

电机功率:40W

整机尺寸(长宽高):210mm×260mm×275mm(包括接胶盘)

裸机尺寸(长宽高):210mm×260mm×155mm

适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等各种材料

联系人:杨进

 联系电话:82995689

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