KW-4T型

技术参数及要求：

基片尺寸：Φ5-Φ100mm圆片，最大100×100mm2方片

7寸液晶触控显示屏，有倒计时显示

存储：8阶段

转速：250-9000RPM

额定电压：～220V/50Hz  

转速稳定性：<±1%   旋涂均匀性：<1%

旋涂工艺阶段：6段

旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节

旋涂时间：单步工艺0-6000s，可根据客户需求调节

电机功率：40W

整机尺寸（长宽高）：240mm×305mm×248mm（包括接胶盘）

裸机尺寸（长宽高）：240mm×305mm×155mm

适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等各种材料

联系人：杨进

联系电话：82995689