2017年《原子层沉积系统的开发与应用》获得中国电子学会科学技术奖一等奖
2017年《集成电路系列科教融合设备开发及实践教学》获得中国科学院教育教学成果奖特等奖。
2017年《原子层沉积系统与开发》获北京市科学技术奖三等奖
2015年《RIE-100反应离子刻蚀系统》获第十七届中国国际高新技术成果交易会优秀产品奖
2014年《等离子体浸没离子注入机开发与应用》获北京市科学技术奖三等奖
2013年《原子层沉积设备技术》获第八届（2013年度）中国半导体创新产品和技术。
2012年《45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备》2012第七届国际发明展览会银奖
2011年《原子层沉积系统及工艺》第二十届全国发明展览会 金奖
2011年高亮度LED图形化衬底刻蚀系统及工艺 第二十届全国发明展览会铜奖
2004年《先进的深亚微米工艺技术及新型器件》获得北京市科学技术奖一等奖
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