先进微电子装备技术研究

面向国家微电子产业发展的重大战略需求，以解决新一代微电子制造技术中的关键难点为突破口，开展创新型微电子制造设备与检测仪器的深入研究。重点开展等离子体生长及加工技术、光学高分辨分...

---

先进空间微型推进技术研究

国内最早开展激光微推进技术研究的单位，经过十几年的研究，在激光与含能工质的相互作用，激光微推力器的研制及微推力器力学性能测试方面，积累了大量丰富的研究经验，其中研制的mN激光微推...

---

高精度射频电源及匹配技术研究

高精度射频电源是微电子仪器设备的核心部件，其作用是向微电子仪器设备体腔室提供固定频率（通常为13.56MHz）的射频能量，用于激发腔室内的气体离化，从而产生等离子体。现已广泛应用到真空...

---

激光应用系统技术研究

团队主要研究方向：激光微米纳米加工技术及半导体设备的研制。目前主要产品包括“激光隐形切割设备、激光开槽设备、激光焊接设备、激光退火设备、激光打孔设备”，可服务的衬底材料包括硅（...

---

微纳加工开放实验平台

设备中心于2010年底建成微细加工与测试平台。该平台按照千级净化标准建造，占地640m2,是针对下一代集成电路设备关键技术、太阳能电池装备、高亮度LED制造装备和通用型微细加工设备进行自主研...

---