先进微电子装备技术研究

　　面向国家微电子产业发展的重大战略需求，以解决新一代微电子制造技术中的关键难点为突破口，开展创新型微电子制造设备与检测仪器的深入研究。重点开展等离子体生长及加工技术、光学高分辨分析检测技术，如二维材料生长及器件一体化仪器，原子层沉积系统、刻蚀机等核心仪器设备的研究，解决微电子科学及微纳制造技术中所涉及的核心问题。

　　专业设备系统自主研究

　　脉冲激光沉积技术（PLD）创新性原理设备及工艺技术研究; 脉冲化学气相二维材料沉积技术（CVD）及工艺技术研究