性别： 男
职称： 研究员
职务： 研发中心主任
学历： 工学博士
电话： 010-82995651
传真： 010-82995687
电子邮件： lichaobo@ime.ac.cn
所属部门： 微电子仪器设备研发中心
通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
教育背景
1997-2001 山东大学 通信与信息系统 理学学士
2002-2007 中国科学院微电子研究所 微电子学与固体电子学 工学博士
工作简历
2007.07至今，在中国科学院微电子研究所工作，现为研究员、博士生导师、微电子仪器设备研发中心主任
研究方向：
新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备
微电子仪器设备研发中心