姓名： 解婧
性别： 女
职称： 副研究员
职务： 课题组长
学历： 工学博士
电话： 010-82995789
传真： 010-82995687
电子邮件： xiejing@ime.ac.cn
所属部门： 微电子仪器设备研发中心
通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
教育背景
2002-2006 清华大学 电子工程系 工学学士
2006-2011中国科学院半导体研究所 微电子学与固体电子学 工学博士
工作简历
2007.07至今，在中国科学院微电子研究所工作，现为副研究员、硕士生导师
2015.10至今，中国科学院大学授课，岗位教师
研究方向
成套MEMS制造技术、微纳材料、结构、及相关设备研究
微电子仪器设备研发中心