姓名：熊伟
性别：男
职称：副研究员
学历：工学博士
电话：010-82995789
电子邮件：xiongwei2@ime.ac.cn
所属部门：微电子仪器设备研发中心
通讯地址：北京市朝阳区北土城西路3号
教育背景：
2004/09-2009/07，清华大学，微电子研究所，博士，导师：余志平
2000/09-2004/07，清华大学，电子工程系，学士
工作经历：
2011/12-至今，中国科学院微电子研究所，微电子设备技术研究室，副研究员
2009/09-2011/11，浙江大学，电气工程学院，博士后，合作导师：严晓浪
研究方向：
光学无损检测
半导体工艺仿真
微电子仪器设备研发中心