开展微纳光学结构调控及制造技术研究。提出了系列光子筛基新结构,同等工艺条件下,提高了涡旋光场分辨率和信噪比。首次在自由空间实验验证涡旋嬗变规则, 研制出70mm自支撑抗辐射SiC薄膜,提出混合光学新方法,实现X射线波段微纳光学元件的批量制造。
有机半导体中的载流子输运机理研究
首次在自由空间实验验证涡旋嬗变规则[Opt.Lett.37,3255(2012)]
70mm自支撑抗辐射SiC薄膜[J.Vac.Sci.Technol.A. 33, 05E114 (2015)]
混合光学新方法[22 April 2014, SPIE Newsroom]
微电子器件与集成技术研发中心