| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 一种射频阻抗匹配器 | 孙小孟,李勇滔,赵章琰,李英杰,秦威,夏洋; | 201110301153.6 | 2011-09-28 |
| 一种可实时数据处理的原子层沉积设备 | 王燕,李勇滔,夏洋,赵章琰,石莎莉; | 201110300813.9 | 2011-09-29 |
| 一种沉积室容积可调节的原子层沉积设备 | 王燕,李勇滔,夏洋,赵章琰,石莎莉; | 201110300066.9 | 2011-09-29 |
| 一种原子层沉积设备及其使用方法 | 王燕,李勇滔,夏洋,赵章琰,石莎莉; | 201110300843.X | 2011-09-29 |
| 一种安全性高的原子层沉积设备 | 王燕,李勇滔,夏洋,赵章琰,石莎莉; | 201110300052.7 | 2011-09-29 |
| 一种可快速处理数据的原子层沉积设备 | 王燕,李勇滔,夏洋,赵章琰,石莎莉; | 201110300006.7 | 2011-09-29 |
| 一种检测存储单元漏电流的方法及系统 | 龙爽,陈岚,陈巍巍,杨诗洋; | 201110391548.X | 2011-11-30 |
| 产生中性粒子束的装置及方法 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110288162.6 | 2011-09-26 |
| 产生中性粒子束的装置及方法 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110288064.2 | 2011-09-26 |
| 一种用于离子中性化的网板结构 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110289007.6 | 2011-09-26 |
| 一种非金属真空腔室结构 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110287953.7 | 2011-09-26 |
| 一种平板电极固定结构 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110287921.7 | 2011-09-26 |
| 一种离子中性化网板 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110287917.0 | 2011-09-26 |
| 一种电极固定结构 | 席峰,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋; | 201110287764.X | 2011-09-26 |
| 一种氮化铝薄膜的制备方法 | 饶志鹏,万军,夏洋,李超波,刘键,陈波,黄成强,石莎莉,李勇滔; | 201110287431.7 | 2011-09-26 |
科研产出