1986年9月-1992年2月,中国科学院微电子中心,助理工程师
1992年2月-1993年7月,日本理化学研究所,访问学者
1993年7月-2001年5月,中国科学院微电子中心(工程师、副研究员、研究员,课题组长、研究室副主任)
2001年6月-2007年7月,中国科学院微电子研究所,副所长
2007年7月 - 2020年9月,中国科学院微电子研究所,所长,中国科学院EDA中心,常务副理事长
长期从事集成电路制造技术、新型器件及微细加工技术领域的研究工作,作为课题负责人和核心骨干完成了国家“七五”至“十五”攻关、攀登计划、863、973、中科院知识创新工程等十几项科研课题的研究任务,在深亚微米及纳米加工技术、超高频化合物半导体器件研究、新型器件等方面取得多项具有国内领先或国际先进水平的科研成果。
获得国家科技进步二等奖1项
中国科学院科技进步二等奖2项
北京市科技进步一等奖2项
荣获得国家“八五”科技攻关先进个人
中国科学院青年科学家奖和优秀青年称号
人才队伍