教育背景
2000.9－2004.7，吉林大学，信息与计算科学，理学学士
2006.9－2008.7，北京化工大学，应用数学，理学硕士
2008.9－2011.7，北京化工大学，化学工程与技术，工学博士
工作简历
2010年7月至今，中国科学院微电子研究所，主要从事纳米集成电路可制造性设计、化学机械研磨多物理仿真和集成芯片多物理场仿真技术研发；
2004-2006年，主要从事数据采集装置软硬件研发、销售及行政工作。
集成芯片多物理场仿真与EDA，纳米集成电路可制造性设计，化学机械研磨多尺度多物理仿真，高分子材料构性关系理论和模拟方法
1. Qinzhi Xu, Lan Chen, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 8 (12) P821-P832 (2019).（SCI, IF=1.808）
2. Qinzhi Xu, Lan Chen, Jianyun Liu, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 8 (6) P370-P378 (2019).（SCI, IF=1.808）
3. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Langmuir 34, 11612-11628 (2018).（SCI, IF=3.789）
4. Qinzhi Xu, Fei Yang, Lan Chen, and He Cao, Int. J. Preci. Eng. Manuf. 19, 1585-1595 (2018).（SCI, IF=1.661）
5. Lan Chen, Qinzhi Xu, Fei Yang, Yan Sun, and Hongwei Liu, ECS J. Solid State Sci. Technol. 7, P529-P536 (2018).（SCI, IF=1.808）
6. Qinzhi Xu, Lan Chen, Fei Yang, and He Cao, Microelectron. Eng. 183-184, 1-11 (2017).（封面文章, SCI, IF=2.02）
7. Qinzhi Xu and Lan Chen, Polymer 105, 51-63 (2016).（SCI, IF=3.483）
8. Qinzhi Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, Soft Matter 12, 1385-1400 (2016).（封面文章, SCI, IF=3.709）
9. Ziwei Yang, Qinzhi Xu, and Lan Chen, IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. 6, 177-184 (2016). ( SCI, IF=1.66)
10. Qinzhi Xu, Lan Chen, and Jingjing Fang, Microelectron. Eng. 149, 14-24 (2015). (SCI, IF=2.02)
11. Qinzhi Xu and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 4, P101-P107 (2015).（SCI, IF=1.808）
12. Qinzhi Xu and Lan Chen, Jingjing Fang and Fei Yang, Microelectron. Eng. 131, 58-67 (2015).（SCI, IF=2.02）
13. Xin Wang, Shui Wang, Qinzhi Xu, and Jianguo Mi, J. Phys. Chem. B 119, 1660-1668 (2015).（SCI, IF=3.146）
14. Qinzhi Xu, and Lan Chen, ECS J. Solid State Sci. Technol. 3, P60-P74 (2014).（SCI, IF=1.808）
15. Qinzhi Xu, Mengjin Xu, Yancong Feng, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 141, 204901 (2014).（SCI, IF=2.843）
16. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Chem. Phys. 140, 234901 (2014).（SCI, IF=2.843）
17. Qinzhi Xu, and Lan Chen, J. Electron. Mater. 42, 2630-2640 (2013).（SCI, IF=1.566）
18. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 133, 174104 (2010).（SCI, IF=2.843）
19. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Ind. Eng. Chem. Res. 49, 4914-4922 (2010).（SCI, IF=3.141）
20. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, Macromolecules 42, 2826-2830 (2009).（SCI, IF=5.914）
21. Qinzhi Xu, Jianguo Mi, and Chongli Zhong, J. Chem. Phys. 128, 214508 (2008).（SCI, IF=2.843）
22. Qinzhi Xu*, Lan Chen, Jianyun Liu, and He Cao, ECS J. Solid State Sci. Technol. 9 074002 (2020).（SCI, IF=2.2）
23. Qinzhi Xu*, Lan Chen, He Cao, and Jianyun Liu, ECS J. Solid State Sci. Technol. 10 054003 (2021).（SCI, IF=2.2）
24. Qinzhi Xu*, He Cao and Jianyun Liu, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 11, 114001 (2022). (SCI, IF=2.2)
25. Qinzhi Xu*, He Cao and Jianyun Liu, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 12 024004 (2023). (SCI, IF=2.2)
26. Chuanjun Nie, Qinzhi Xu*, and Lan Chen, Microelectron. Reliab., 137 114790 (2022).（SCI, IF=1.6）
27. Chuanjun Nie, Qinzhi Xu*, Chenghan Wang, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, Appl. Therm. Eng. 229 120609 (2023) . (SCI, IF=6.465)
28. Chenghan Wang, Qinzhi Xu*, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, Microelectron. Reliab. 146 115006 (2023). (SCI, IF=1.6)
29. Chenghan Wang, Qinzhi Xu*, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu and Zhiqiang Li, IEEE Trans. Very Large Scale Integr. Sys. 32 (1) 178-189 (2024). (SCI, IF=2.8)以第一发明人申请专利近50项，已授权30余项。
1. 徐勤志，陈岚，阮文彪，叶甜春，基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统，北京，ZLCN201110335135.X。
2. 徐勤志，陈岚，铝栅CMP化学反应动力学仿真及版图设计优化方法，北京，ZLCN201210581850.6。
3. 徐勤志，陈岚，一种芯片表面形貌仿真的方法及装置，ZL201310092423.6.
4. 徐勤志，方晶晶，陈岚，计算晶圆表面研磨去除率的方法，北京，ZLCN201210458982.X。
5. 徐勤志，陈岚，方晶晶，一种铝栅CMP协同计算模型的仿真及优化方法，北京，ZLCN201210581845.5。
6. 徐勤志，陈岚，一种可制造性设计仿真器设计方法及系统，ZL201610052912.2。专利近50项，已授权30余项。部分代表性授权专利：
2018年北京市科学技术奖三等奖（排名第六）
2018年中国电子学会科学技术奖二等奖（排名第三）
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