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  • 姓名： 吴晓斌
  • 性别： 男
  • 职称： 研究员
  • 职务： 副主任
  • 学历： 博士
  • 电话： 
  • 传真： 
  • 电子邮件： wuxiaobin@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光电技术研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    1996.09-2000.07，浙江大学光电信息工程系，光学工程，工学学士 

    2001.09-2009.01，清华大学精密仪器系，光学工程，硕博连读，工学博士 

    工作简历 

    2009.05-2018.10，中国科学院光电研究院，投影光学室，助理研究员、副研究员、研究员 

    2018.11-至今，  中国科学院微电子研究所，光电技术研发中心，研究员 

    社会任职：

  • 1.中国计量测试学会真空计量专业委员会副主任委员 

    2.全国真空技术标准化技术委员会委员 

    3.中国真空学会质谱分析与检漏专委会委员 

    4.中国真空学会真空冶金专业委员会委员 

    5.《真空与低温》编委

    研究方向：

  • 极紫外光刻、光学工程、光学检测、精密仪器

    承担科研项目情况：

  • 1.国家科技重大专项“EUV基础共性技术研究”，主持人，在研 

    2.国家科技重大专项“EVUL动态真空与热环境技术研究”，主持人，在研 

    3.国家科技重大专项“高NA投影曝光光学系统及其产业化发展研究”，主持人，结题 

    4.国家科技重大专项“20W 4kHz ArF曝光光源研发”，参与，结题

    代表论著：

  • 1.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative study on surface influence to outgassing performance of aluminum alloy. Applied Surface Science. 2020, 502(144166):1-8.  

    2.   Min Lei, Xiaobin Wu, Wei Zhang, Xiaoping Li, Xuedong Chen，The implementation of subsonic boundary conditions for the direct simulation Monte Carlo method in dsmcFoam， Computers and Fluids, 156 (2017) 209–219. 

    3.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative Study on the Outgassing Rate of Materials using Different Methods. MAPAN-Journal of Metrology Society of India. 2016, 31(1):61-68.  

    4.   罗艳,王魁波,张罗莎,吴晓斌,王宇. 聚合物的放气分率与放气模型研究. 真空科学与技术学报.2015,35(9):1100-1104.  

    5.   罗艳,王魁波,吴晓斌. 极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究. 质谱学报.2018,39(4):392-398.  

    6.   Xiaobin Wu, Yan Luo, Kuibo Wang. Obtaining and Maintaining of Clean High Vacuum on the Material Outgassing Test System. KEM-Key Engineering Materials. 2017,723:111-118.  

    7.   罗艳,王魁波,吴晓斌,王宇. 高精度真空材料放气测试研究. 真空科学与技术学报. 2016,36(3):251-257.  

    8.   罗艳，吴晓斌，周翊，王宇. 准分子激光与SiC 陶瓷的相互作用研究. 激光与光电子学进展.2016，53(121403):1-6.  

    9.   罗艳,王魁波,吴晓斌,王宇. 超高精度质谱检出限的测试技术研究. 真空科学与技术学报.2018,38(11):938-943.  

    10.  罗艳，吴晓斌，王魁波. 高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析. 分析测试技术与仪器. 2019,(25)4:211-218.

    专利申请：

  • 申请国家发明专利40余项，授权20余项；授权实用新型专项30余项；申请PCT国际专利4项，部分专利如下： 

    1.     多元合金薄膜的制备装置及其制备方法.国际. PCT/CN2017/116599.  

    2.     多元合金薄膜的制备装置及其制备方法. 中国. ZL201711125054.0.  

    3.     一种聚合物辐照损伤测试装置. 中国. ZL201520877033.4. 

    4.     一种材料辐射致放气的在线测试装置.中国. ZL201621345502.9. 

    5.     一种高精度质谱检出限的检测装置. 中国.ZL201820946643.9. 

    6.     一种材料辐射致气体渗透的测试装置. 中国.ZL201621138020.6. 

    7.     一种材料分压放气率测试装置及方法.中国. ZL201510427893.2. 

    8.     一种分压漏率测量装置及方法. 中国. ZL201610473484.0. 

    9.     一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统. 中国. ZL201310538366.X. 

    10.    一种用于激光光源的液态金属靶产生装置. 中国. ZL 201310182436.2. 

    11.    一种极紫外光源性能参数的测量系统. 中国. ZL201510772679.0. 

    12.    一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统. 中国. ZL201610548432.5. 

    13.    一种反射式光学元件温控系统. 中国.ZL201310665292.6. 

    14.    真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法. 中国.ZL201310275992.4. 

    15.    用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置.中国. ZL201620189119.2 

    16.    一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置. 中国. ZL201620185955.3. 

    获奖及荣誉：

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