专利名称: 半导体芯片焊料凸点加工方法
专利类别:
申请号: 00133603.7
申请日期: 2000-11-28
专利号: CN1355555
第一发明人: 王文泉
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 一种半导体芯片焊料凸点加工方法,包括如下步骤:步骤1:球下金属化层;步骤2:介质膜的淀积与刻蚀;步骤3:电镀工艺:a、电镀铜微型凸点或称厚铜:采用光亮硫酸盐镀液配方,镀铜厚度5-10μm;b、电镀铅锡合金凸点:采用光亮铅锡合金电镀配方以及材料,二元系铅锡合金一次电镀完成;步骤4:回流工艺:采用回流峰值温度高于焊料熔点10-50℃,并采用中性助焊剂。
其它备注: