专利名称: | 半导体芯片焊料凸点加工方法 |
专利类别: | |
申请号: | 00133603.7 |
申请日期: | 2000-11-28 |
专利号: | CN1355555 |
第一发明人: | 王文泉 |
其它发明人: | |
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专利授权日期: | |
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实施情况: | |
专利证书号: | |
专利摘要: | 一种半导体芯片焊料凸点加工方法,包括如下步骤:步骤1:球下金属化层;步骤2:介质膜的淀积与刻蚀;步骤3:电镀工艺:a、电镀铜微型凸点或称厚铜:采用光亮硫酸盐镀液配方,镀铜厚度5-10μm;b、电镀铅锡合金凸点:采用光亮铅锡合金电镀配方以及材料,二元系铅锡合金一次电镀完成;步骤4:回流工艺:采用回流峰值温度高于焊料熔点10-50℃,并采用中性助焊剂。 |
其它备注: | |
科研产出