| 专利名称: | 基于二氧化硅特性制作热剪切应力传感器的方法 |
| 申请号: | 200710064878.1 |
| 申请日期: | 2007-03-28 |
| 专利号: | CN101274740 |
| 第一发明人: | 易 亮 欧 毅 陈大鹏 景玉鹏 叶甜春 |
| 专利摘要: | 本发明涉及微机电技术领域，公开了一种基于二氧化硅特性制作热剪 切应力传感器的方法，该方法包括：A、在硅片的正面和背面淀积二氧化 硅薄膜；B、保护正面，对背面进行光刻，刻蚀形成二氧化硅薄膜窗口以 及划片槽；C、在正面淀积多晶硅薄膜，进行磷重掺杂，光刻，打底胶， 表面淀积铬薄膜，剥离，刻蚀形成多晶硅薄膜电阻条；D、在正面淀积一 层氮化硅薄膜，钝化多晶硅；E、腐蚀背面体硅，形成腔体；F、正面光刻， 打底胶，表面淀积铬薄膜，剥离，刻蚀形成接触孔；G、正面光刻，电子 束蒸发金属铝Al，剥离，形成电极；H、背面与硼硅玻璃进行阳极键合。 利用本发明，减少了热量散失，简化了工艺过程，大大提高了器件灵敏度。 |
科研产出