专利名称: 一种斜面光接收的光电探测器
专利类别:
申请号: 200710099874.7
申请日期: 2007-05-31
专利号: CN101315955
第一发明人: 申华军 李志华 杨成樾 万里兮 李宝霞
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本发明涉及光互联通信的光电探测器件技术领域,公开了一种斜面光
接收的光电探测器,该光电探测器光接收的有源区位于半导体衬底被腐蚀
后形成的V型槽的一个斜面上,有源区从斜面表面向外依次包括缓冲层、
n型欧姆接触层、本征层和p型欧姆接触层,有源区的上表面为单电极或
双电极。本发明提供的斜面光接收的光电探测器,有源区位于器件的斜面
上,能够与各种类型的电路板上的光波导实现直接光路耦合,不需要光路
传输方向的转变,形成简便高效的光探测接收端,简化了光路的耦合对准。
由于不需要光路传输方向的转变,因而也就不需要精密的光路对准装置,
使得工艺和对准的难度大大降低,成本下降,并减少了光损耗,提高了耦
合效率。
其它备注: