专利名称: | 一种斜面光接收的光电探测器 |
专利类别: | |
申请号: | 200710099874.7 |
申请日期: | 2007-05-31 |
专利号: | CN101315955 |
第一发明人: | 申华军 李志华 杨成樾 万里兮 李宝霞 |
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专利摘要: | 本发明涉及光互联通信的光电探测器件技术领域,公开了一种斜面光 接收的光电探测器,该光电探测器光接收的有源区位于半导体衬底被腐蚀 后形成的V型槽的一个斜面上,有源区从斜面表面向外依次包括缓冲层、 n型欧姆接触层、本征层和p型欧姆接触层,有源区的上表面为单电极或 双电极。本发明提供的斜面光接收的光电探测器,有源区位于器件的斜面 上,能够与各种类型的电路板上的光波导实现直接光路耦合,不需要光路 传输方向的转变,形成简便高效的光探测接收端,简化了光路的耦合对准。 由于不需要光路传输方向的转变,因而也就不需要精密的光路对准装置, 使得工艺和对准的难度大大降低,成本下降,并减少了光损耗,提高了耦 合效率。 |
其它备注: | |
科研产出