专利名称: 嵌入纳米晶颗粒的非挥发电阻转变型存储器
专利类别:
申请号: 200710176283.5
申请日期: 2007-10-24
专利号: CN101420012
第一发明人: 管伟华 刘 明 龙世兵 贾 锐
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本发明涉及微电子器件及存储器技术领域,公开了一种基于二元过渡
族金属氧化物的嵌入纳米晶颗粒的非挥发电阻转变型存储器,该存储器包
括:上导电电极层与下导电电极层;包含在上导电电极层与下导电电极层
之间的二元过渡族金属氧化物薄膜;在二元过渡族金属氧化物薄膜中嵌入
的纳米晶颗粒。利用本发明,器件的加工工艺与传统CMOS工艺兼容,可
以极大的提高器件的产率,为器件的大规模集成打下基础。
其它备注: