| 专利名称: | MEMS光谱气敏传感器 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710303888.6 |
| 申请日期: | 2007-12-26 |
| 专利号: | CN101470074 |
| 第一发明人: | 高超群 刘茂哲 惠 瑜 景玉鹏 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种MEMS光谱气敏传感器，利用光谱分析的手段 实现目标气体的定性及定量分析。该传感器由目标气体放电发出的红 外光在待测气体中的吸收量得到目标气体的浓度。该吸收量是由通过 参比室的红外光光强与通过测量室的红外光光强之差确定。该传感器 主要由射频发光管、目标气体特征吸收参比室(主参比室)、目标气体 特征吸收测量室(主测量室)、非特征吸收测量室(副测量室)和非特 征吸收参比室(副参比室)组成。主参比室和主测量室用于目标气体 的浓度检验，副参比室和副测量室用于确定主测量室内的红外吸收是 否是由干扰气体引起。利用本发明，解决了现有传感器选择性低、抗 干扰能力差、寿命短的缺点，并且成本低廉，便于广泛使用。 |
| 其它备注: | |
科研产出