| 专利名称: | 实现微波开关及其逻辑控制电路单片集成的制作方法 |
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| 申请号: | 200810102206.X |
| 申请日期: | 2008-03-19 |
| 专利号: | CN101540296 |
| 第一发明人: | 黎 明 张海英 徐静波 付晓君 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及化合物半导体MMIC技术领域，公开一种采用GaAs 增强/耗尽型PHEMT技术实现微波开关及其逻辑控制电路单片集成的 制作方法，利用1.0μm GaAs E/D PHEMT工艺，制备出性能良好的 DC～10GHz SPDT MMIC，将全耗尽型微波开关与反相器逻辑电路集成 于同一芯片内，基本实现逻辑电路与开关电路的集成，整个电路只需 要1位控制信号，有效的减少了开关电路的控制端口数目，节省了芯 片面积。为将来采用E/D HEMT技术实现更大规模、更复杂电路集成 奠定了良好基础。发明具有成效明显，工艺设计简单易行，经济适用 和可靠性强的优点，容易在微波、毫米波化合物半导体电路制作中采 用和推广。 |
| 其它备注: | |
科研产出