专利名称: 一种底电极结构有机场效应晶体管的制作方法
专利类别:
申请号: 200810240082.1
申请日期: 2008-12-17
专利号: CN101752505A
第一发明人: 刘舸 刘明 刘兴华 商立伟 王宏 柳江
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专利证书号:
专利摘要: 本发明公开了一种底电极结构有机场效应晶体管的制作方法。该方法在电极和栅介质层之间加一层真空蒸镀的有机半导体材料。这层半导体材料减小了下电极与有机半导体层材料之间的接触效应从而提高的性能。这层有机半导体材料可以就是有源层材料也可以是类似的有机半导体材料。它们之间的功函数接近,且电极与有源层的接触改变成一种顶电极接触方式,有效注入面积更大。利用本发明,实现了使用传统光刻工艺制作出具有顶电极结构性能的有机场效应晶体管。
其它备注: