| 专利名称: | 微电力机械系统电可调谐光学滤波器芯片制备方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200510062484.3 |
| 申请日期: | 2005-03-29 |
| 专利号: | CN1840464 |
| 第一发明人: | 欧 毅 陈大鹏 孙雨南 崔 芳 王冠亚 刘 辉 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 一种微电力机械系统(MEMS)电可调谐光学滤波器芯片的制备方法， 包括步骤：1、在硅基片表面上光刻出下电极图形；2、蒸发铬/金薄膜； 3、超声剥离；4、淀积二氧化硅牺牲层；5、光刻腐蚀隔离槽图形；6、 蒸发铬作为掩蔽层；7、超声剥离；8、干法刻蚀隔离槽内的二氧化硅；9、 去铬；10、淀积氮化硅；11、光刻上电极图形；12、蒸镀铬/金薄膜；13、 超声剥离；14、光刻腐蚀孔；15、干法刻蚀氮化硅；16、湿法去除二氧 化硅牺牲层；17释放结构。由此芯片制做的微电力机械系统电可调谐光 学滤波器器件，可在光通信波分复用系统中将光纤中不同波长传输的信 号进行复用或解复用，或者在光网络中用作光插/分复用器(OADM)。 |
| 其它备注: | |
科研产出