| 专利名称: | 硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200510062485.8 |
| 申请日期: | 2005-03-29 |
| 专利号: | CN1841149 |
| 第一发明人: | 欧 毅 陈大鹏 刘 明 刘 辉 |
| 其它发明人: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，属于微电子 器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1.在硅基片表面上光刻出反射 电极图形；2.在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铝薄膜；3.采 用常规剥离工艺得到所需的铝反射电极图形；4.在铝反射电极上生长二 氧化硅作为钝化层，完成制作。本发明方法具有成本低和工艺简单的优 点。 |
| 其它备注: | |
科研产出