专利名称: 一种非平面沟道有机场效应晶体管
专利类别:
申请号: 200510130758.8
申请日期: 2005-12-28
专利号: CN1996636
第一发明人: 于 贵 狄重安 刘洪民 刘云圻 刘新宇 徐新军 孙艳明 王 鹰 吴德馨 朱道本
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本发明是一种非平面沟道场效应晶体管结构,包括衬底、栅极电极、
绝缘层、源漏电极和有机半导体;其在衬底上沉积和图案化栅极以后,
顺次构筑第一层绝缘层、源电极、第二层绝缘层和漏电极,最后沉积有
机半导体层,至少包括一层有机膜。本发明金属层的厚度为30~300纳
米,沟道长度0.3~150微米。
其它备注: