利用平行光测量衬底反射率和透射率的宽光谱光学量测系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	利用平行光测量衬底反射率和透射率的宽光谱光学量测系统
专利类别:	发明专利
申请号:	201210213835.6
申请日期:	2012-06-25
专利号:	201210213835.6
第一发明人:	王林梓;刘涛;李国光
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201210213835.6
专利摘要:
其它备注:	八室一组