根据《中国科学院事业单位变更政府采购方式审批管理办法》和《微电子研究所外协外包管理规定》的要求，为了进一步规范公开招标数额标准以下的服务选择单一来源采购流程，现将拟开展的外协外包予以公示。
一、外协外包项目名称、预算、采购方式
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申请部门 |
先导工艺研发中心 |
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课题号 |
E1XDC2X001、E1XDC2X002、E1XDC2X004 |
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外协外包项目名称 |
电子束曝光机年度维保 |
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外协外包项目预算（万元） |
160 |
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拟申请采购方式 |
单一来源采购 |
二、外协外包项目
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外协外包项目 |
要求 |
单位 |
数量 |
单价 （万元） |
总金额 （万元） |
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电子束曝光机年度维保 |
1.软件升级； 2.电子束对中调整； 3.干泵保养； 4.高压柜內部清洁； 5.腔体定期清洁； 6.工作台保养。 7.工作台红宝石固定部件更换； 8.电子枪更换； 9.末级透镜线圈更换； 10.高压柜的高压触点接触问题，需要更换接触部件； 11.控制电路通讯异常； 12.载片台底部红宝石固定模块脱落； 13.干泵以及分子泵更换 |
次 |
1 |
160 |
160 |
三、单一来外包理由
中国科学院微电子研究所先导中心承担的院课题关键工艺共性技术、CMOS器件与集成电路技术、高性能SRAM关键电路验证，电子束曝光机应用于课题的前道非金属工艺以及后道金属工艺，具有不可替代性。
先导中心现有电子束曝光机于2011年11月30日采购于英国Nano Beam Limited（以下简称，NBL）。设备型号为NB4（资产编号：K02-128）的电子束曝光机于2015年10月19日过质保期。设备型号为NB5（资产编号：K02-189）的电子束曝光机于2017年3月14日过质保期。
为保障课题的顺利推进，需要保障电子束曝光机正常运行。电子束曝光机属于高精密设备，需定期进行专业维护才能正常运行。另外，由于两台设备经过多年高强度使用，按照之前经验，每年都会有部件出现故障。经调研，目前，只有原设备生产厂家NBL公司有能力对设备进行维护、维修。
四、拟定的唯一供应商名称、地址
供应商名称：Nano Beam Limited
地址：Unit 4 College Business Park, Coldhams Lane
CAMBRIDGE CB1 3HD United Kingdom
五、公示期限及联系方式
公示时间为2023年7月10日至2023年7月14日，任何单位及个人对公示内容有异议，请于2023年7月14日17时前，以电话、信函等方式向质量处反映，质量处将按相关规定进行处理。
联系人：杜博芳
联系电话：82995527
附件：1.单一来源采购单位内部会商意见表（一）
2.单一来源采购单位内部会商意见表（二）
质量处
2023.7.7
综合信息