| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法 | 张阳,解婧,罗巍,李超波,夏洋; | 201110428499.2 | 2011-12-20 |
| 射频连接装置 | 李勇滔,赵章琰,秦威,李英杰,夏洋; | 201110399288.0 | 2011-12-05 |
| 射频功率放大模块及具有散热风道的大功率射频电源 | 李勇滔,秦威,赵章琰,李英杰,夏洋; | 201110410022.1 | 2011-12-09 |
| 提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法 | 万军,赵柯杰,黄成强,饶志鹏,陈波,李超波,夏洋,吕树玲,石莎莉; | 201110421739.6 | 2011-12-15 |
| 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法 | 万军,赵柯杰,黄成强,饶志鹏,陈波,李超波,夏洋,吕树玲,石莎莉; | 201110421550.7 | 2011-12-15 |
| 原子层薄膜沉积系统 | 夏洋,李超波,陈波,万军,吕树玲,马舒; | 201130473781.3 | 2011-12-13 |
| 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法 | 汪明刚,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201110421626.6 | 2011-12-15 |
| 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | 汪明刚,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201120527096.9 | 2011-12-15 |
| 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | 汪明刚,李超波,屈芙蓉,夏洋; | 201110421859.6 | 2011-12-15 |
| 一种等离子体腔室内衬结构 | 屈芙蓉,李超波,陈瑶,夏洋; | 201110413562.5 | 2011-12-13 |
| 半导体腔室用压片装置 | 李超波,屈芙蓉,陈瑶,刘传钦,夏洋; | 201110408402.1 | 2011-12-09 |
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201120527005.1 | 2011-12-15 |
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201110421748.5 | 2011-12-15 |
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201120527128.5 | 2011-12-15 |
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201110421472.0 | 2011-12-15 |
科研产出