| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 一种控制注入结深度的方法 | 李超波,汪明刚,夏洋; | 201110411591.8 | 2011-12-12 |
| 一种用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法 | 汪明刚,李超波,夏洋; | 201110412556.8 | 2011-12-12 |
| 一种等离子体浸没注入电极结构 | 刘杰,屈芙蓉,李超波,夏洋; | 201110412530.3 | 2011-12-12 |
| 一种等离子体浸没注入装置 | 李超波,刘杰,屈芙蓉,夏洋; | 201110412440.4 | 2011-12-12 |
| 一种半导体设备中黑色Y2O3陶瓷涂层制造方法 | 邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396482.3 | 2011-12-02 |
| 一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法 | 王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396560.X | 2011-12-02 |
| 一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法 | 邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396423.6 | 2011-12-02 |
| 一种真空等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法 | 邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396373.1 | 2011-12-02 |
| 一种制备Y2O3陶瓷涂层的改进方法 | 邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110394635.0 | 2011-12-02 |
| 一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法 | 邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔; | 201110396196.7 | 2011-12-02 |
| 一种晶圆级阳极键合方法 | 罗巍,解婧,张阳,李超波,夏洋; | 201110395020.X | 2011-12-02 |
| 一种抗单粒子翻转的Latch型灵敏放大器 | 于芳,乔宁,赵凯,高见头; | 201110421648.2 | 2011-12-16 |
| 一种应用于对特定结构FPGA进行测试的导航映射方法 | 于芳,张倩莉; | 201110421639.3 | 2011-12-16 |
| 对现场可编程门阵列中查找表延迟故障进行检测的方法 | 于芳,赵岩; | 201110424160.5 | 2011-12-16 |
| 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置 | 李超波,汪明刚,屈芙蓉,夏洋; | 201110412965.8 | 2011-12-12 |
科研产出