微电子所面向国家战略需求，聚焦发展定位目标，整合优化资源，于2009年建设所级中心（以下简称“中心”）。中心通过不断建设发展，已建成国际先进、国内领先的微电子集成电路先导技术、集成电路与器件测试和可靠性失效分析三个平台，重点支撑延伸及超越摩尔定律的半导体新器件加工、测试及可靠性失效分析，提升研究所科技创新能力。持续提升仪器的利用率、共享率，向高校、科研机构及企业提供科技服务。加强科教融合，建设成我国微电子领域高素质创新人才和优秀工程师的培训基地。

截至2023年底，中心共有仪器设备223台/套，设备总值57488.21万元。固定技术人员88人，其中高级职称27人。引进院级高层次人才引进计划1人，培养院关键技术人才3人，青促会3人，特聘岗11人，院所两级优秀人才1人。