有机电子器件及集成

　课题组围绕 “自上而下”的微加工工艺及“自下而上”的分子自组装技术，开展低操作电压低功耗有机电子器件及集成电路研究，开展有机射频电子标签的研究，致力于解决有机电子学基础研究与应...

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纳米加工与先进掩模制造技术

开展下一代光刻技术和相关理论的研究;开展了电子束和x-射线曝光技术的研究（发展成套的电子束曝光工艺模拟：电子散射、显影模型等）；开展低成本纳米结构制造技术（不同衬底材料的压印模板的...

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微纳光学元件

开展微纳光学结构调控及制造技术研究。提出了系列光子筛基新结构，同等工艺条件下，提高了涡旋光场分辨率和信噪比。首次在自由空间实验验证涡旋嬗变规则, 研制出70mm自支撑抗辐射SiC薄膜，提...

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