| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪 | 王守国、赵玲利; | 201110228265.3 | 2011-08-10 |
| 一种新型的常压双介质阻挡扁口型活性自由基清洗设备 | 王守国，贾少霞; | 201110209427.9 | 2011-07-26 |
| 一种黑硅太阳能电池表面的钝化方法 | 夏洋，刘邦武，钟思华，李超波，李勇滔; | 201110380033.X | 2011-11-25 |
| 等离子体浸没离子注入机 | 屈芙蓉，李楠，李超波，夏洋，李勇滔; | 201130445442.4 | 2011-11-29 |
| 具有精密功率检测器的射频电源 | 李勇滔 赵章琰 秦威 李英杰 夏洋; | 201110389185.6 | 2011-11-30 |
| 一种用于进气结构的匀气盘 | 李楠、席峰、李勇滔、张庆钊、夏洋; | 201110388396.8 | 2011-11-29 |
| 一种新型匀气结构 | 李楠、席峰、李勇滔、张庆钊、夏洋; | 201110387800.X | 2011-11-29 |
| 模块化离子注入机控制系统 | 王蒙 李勇滔 赵章琰 李超波 夏洋; | 201110391302.2 | 2011-11-30 |
| 离子注入机控制系统 | 王蒙 李勇滔 赵章琰 李超波 夏洋; | 201110391341.2 | 2011-11-30 |
| 离子注入机 | 王蒙 李勇滔 赵章琰 李超波 夏洋; | 201110391312.6 | 2011-11-30 |
| 基于虚拟仪器的注入机控制系统 | 王蒙 李勇滔 赵章琰 李超波 夏洋; | 201110391317.9 | 2011-11-30 |
| 基于ARM的嵌入式注入机控制系统 | 王蒙 李勇滔 赵章琰 李超波 夏洋; | 201110389219.1 | 2011-11-30 |
| 一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法 | 邵花,王文东,夏洋,李勇滔; | 201110328346.0 | 2011-10-26 |
| 一种改进性能的Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法 | 邵花,王文东,夏洋,李勇滔; | 201110328241.5 | 2011-10-26 |
| 一种金属氮化物阻挡层的制备方法 | 王文东,夏洋，李超波，李勇滔,刘训春; | 201110285513.8 | 2011-09-23 |
科研产出