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- 微电子所14纳米CMOS量产工艺中光源掩模协同优化技术研发取得显著进展2016/11/04
- 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》专著出版2016/08/24
- 微电子所在阻变存储器研究领域取得新突破2016/06/27
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- 微电子所等离子体浸没黑硅表面处理设备荣获“第十届中国半导体创新产品和技术奖”2016/04/06
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科研工作